詳細介紹

                                    >> 產品特點 
                                       WB240微波等離子去膠機采用專利高密度2.45GHZ微波等離子技術,用于半導體生產中晶圓的清潔、去膠和等離子體預處理,微波等離子體清洗、去膠機具有高度活性、高效,且不會對電子裝置產生離子損害。   
                                    微波等離子去膠機主要用途: 
                                      ·等離子體表面改性
                                      ·有機物表面等離子去膠                                              
                                      ·邦定強度增強
                                      ·等離子體刻蝕應用
                                      ·等離子體灰化應用
                                      ·增強或減弱浸潤性
                                      ·其它等離子體系統應用
                                    >> 技術參數
                                     ◆ 外形尺寸
                                        1000(W)×800(D)×1750(H)mm
                                     ◆ 倉體結構(約20升)
                                        Φ 245mm ×400Lmm  
                                     ◆ 等離子發生器(德國)
                                        頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續調節,可連續長時間工作
                                     ◆ 控制系統
                                        觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
                                     ◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)
                                        英國愛德華斡旋式干泵 GV40
                                        美國MKS真空壓力控制節流閥及薄膜式傳感器      
                                        臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管 
                                     ◆ 充氣系統
                                        美國MKS高精度電子質量流量計(2路氣體配制)
                                        美國世偉洛克氣體管路及接口組件,德國雙級減壓閥

                                        日本SMC及CKD高真空氣閥組件

                                    >> 相關應用    

                                      - 晶圓光刻膠清洗 

                                      - 去除殘膠

                                      - 晶圓和襯底的清潔

                                       



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