詳細介紹

                                    >> 產品特點  

                                       WB4545采用專利高密度微波等離子技術,用于半導體生產中晶圓的清潔和等離子體預處理,微波等離子高度活性、高效,且不會對電子裝置產生離子損害。

                                    微波等離子體系統是下列用途的理想方式: 

                                    ·等離子體表面改性

                                    ·有機物表面等離子體清潔

                                    ·邦定強度增強 ·等離子體刻蝕應用

                                    ·等離子體灰化應用 

                                    ·增強或減弱浸潤性

                                    ·去殘膠以及內腐蝕(深腐蝕)應用

                                    ·焊接前進行表面清潔、去除焊劑、引線鍵合之前的表面準備·消除表面污染、表面消毒

                                    微波等離子清洗機的應用

                                    ·防止包封分層

                                    ·提高焊線質量

                                    ·增加鍵合強度

                                    ·光刻膠剝離或灰化清洗

                                    ·微電子元件,電路板上的鉆孔或銅線框架

                                    ·提高可靠性,尤其是多接口的高級封裝 

                                    ·產生親水或疏水表面

                                    微波等離子清洗機的優勢:

                                    ·先進微波技術 ,清洗干凈徹底,無殘留成份,無需干燥處理

                                    ·無電極等離子發生器和高密度自由基使料盒內部清洗處理達到高度一致性

                                    ·定制等離子反應器

                                    ·氣體輸入和泵速的控制

                                    ·離子密度高,一致性好

                                    ·在線兼容

                                    ·優化加工條件 低運營成本

                                    ·無廢水,符合環保要求

                                    ·低能耗

                                    >> 技術參數  
                                     ◆ 外形尺寸(不包括報警燈)  
                                        1000(W)×800(D)×1750(H)mm  
                                     ◆ 倉體結構(鋁,約125升)  
                                        450(W)×450(D)×450(H)mm  
                                     ◆ 旋轉平臺  
                                        Φ 350mm ,轉速可調節 
                                     ◆ 等離子發生器(美國)  
                                        頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續調節,可連續長時間工作
                                     ◆ 控制系統  
                                        觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式  
                                     ◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)  
                                        英國愛德華爪式干泵 GV100 
                                        美國MKS真空壓力控制節流閥及薄膜式傳感器
                                        臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管 
                                     ◆ 充氣系統  
                                        美國MKS高精度電子質量流量計(2路氣體配制)
                                        美國世偉洛克氣體管路及接口組件,德國雙級減壓閥  

                                        日本SMC及CKD高真空氣閥組件 

                                    >> 相關應用

                                      - 芯片封裝

                                      引線框架清洗

                                      


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