詳細介紹

                                    >> 產品特點

                                       立式中型等離子清洗機,觸摸電腦+PLC多步流程全自動控制,全電路檢測,用于BGA、COB、CSP、LED封裝制程清洗有機物及氧化物,中批量生產機型。
                                    >> 技術參數
                                     ◆ 設備外形尺寸(不包括報警燈)
                                        650(W)×900(D)×1600(H)mm
                                     ◆ 倉體結構(合金鋁,約100升)
                                        420(W)×420(D)×570(H)mm

                                     ◆ 放電電極

                                        9層鋁合金放電電極,陽極氧化處理

                                     ◆ 等離子發生器(美國MKS)
                                        頻率13.56MHZ,功率0-600W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作

                                     ◆ 控制系統 

                                        PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,性能穩定可靠,并具有  手動、自動兩種模式

                                      真空系統
                                        日本愛發科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S)

                                        臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英??祲毫鞲衅?/span>

                                     ◆ 壓力控制

                                        PID閉環自動穩壓控制

                                      充氣系統 

                                       美國AE高精度電子質量流量計(兩路氣體配制)、針閥
                                       美國世偉洛克氣體管路及接口組件,德國雙級減壓閥
                                       日本SMC及CKD高真空氣閥組件

                                    >> 相關應用   

                                      光刻膠清洗 

                                      表面改性








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